利用(yong)以下(xia)十五(wu)個成本因素變量(liang)，提(ti)供(gong)可供(gong)選擇的(de)設計方(fang)案動態數據庫，對基本的(de)潔(jie)凈室設計和(he)標(biao)準進行改進，盡量(liang)滿足(zu)工(gong)(gong)廠(chang)的(de)需求，通(tong)過(guo)這些方(fang)法我們應能(neng)夠減(jian)少項目(mu)的(de)工(gong)(gong)程(cheng)費(fei)用(yong)。ATI的(de)建筑師和(he)工(gong)(gong)程(cheng)師應用(yong)這些方(fang)法成功地(di)為生物制藥學、微電子學和(he)食品加(jia)工(gong)(gong)行業(ye)的(de)潔(jie)凈室進行設計，并(bing)實施了施工(gong)(gong)工(gong)(gong)程(cheng)。
1. 換(huan)氣次數(shu)。花(hua)費(fei)因素變量：-0。08至0。19
潔(jie)(jie)凈室內的(de)(de)(de)(de)空氣(qi)分(fen)配設備(通(tong)(tong)常是吊(diao)頂過(guo)(guo)濾(lv)器)被設計成“噴(pen)淋式”，用來提(ti)供統一的(de)(de)(de)(de)、潔(jie)(jie)凈的(de)(de)(de)(de)已(yi)過(guo)(guo)濾(lv)的(de)(de)(de)(de)空氣(qi)。向(xiang)房(fang)間補給的(de)(de)(de)(de)空氣(qi)量(liang)，讓人想起與普通(tong)(tong)的(de)(de)(de)(de)淋浴噴(pen)頭相(xiang)反的(de)(de)(de)(de)消(xiao)防龍頭。美國(guo)聯邦(bang)標準(zhun)209E、日(ri)本標準(zhun)JIS B9920和(he)ISO 標準(zhun)14644-1的(de)(de)(de)(de)標題是：潔(jie)(jie)凈室外和(he)相(xiang)關(guan)控制環(huan)(huan)境(jing)——部分(fen)：清潔(jie)(jie)空氣(qi)的(de)(de)(de)(de)分(fen)級。這些標準(zhun)提(ti)供了(le)潔(jie)(jie)凈室參數、分(fen)級和(he)檢測(ce)方法的(de)(de)(de)(de)指導方針，但并(bing)未說明如何經濟(ji)有效地達到要求。這是因為每種生產過(guo)(guo)程和(he)潔(jie)(jie)凈室外的(de)(de)(de)(de)要求是不同的(de)(de)(de)(de)，因此，可以(yi)采用不同的(de)(de)(de)(de)再(zai)循環(huan)(huan)空氣(qi)量(liang)，達到預期的(de)(de)(de)(de)環(huan)(huan)境(jing)要求。
至(zhi)少有五種(zhong)不同的(de)(de)“可能”設(she)計能夠達到預期(qi)的(de)(de)結果，然(ran)而只有一種(zhong)設(she)計是更(geng)佳(jia)方案。為(wei)項目尋(xun)找更(geng)佳(jia)和最經濟的(de)(de)解決方案，是潔凈室外換氣(qi)項目的(de)(de)最基本的(de)(de)目標理(li)念。
如表(biao)1所示，換氣次數(shu)和再循環數(shu)量變(bian)化對于確(que)定(ding)房間的級別是十分(fen)重要(yao)(yao)的。例如，通(tong)過(guo)300次的換氣次數(shu)能(neng)夠達(da)到M2級潔凈室(shi)的要(yao)(yao)求，但(dan)也(ye)可能(neng)540次的換氣次數(shu)仍不能(neng)滿足要(yao)(yao)求。
房間內污染物的(de)(de)比率和(he)實(shi)際(ji)微粒(li)產生(sheng)情(qing)況，是影(ying)響(xiang)潔凈(jing)室空(kong)氣(qi)換(huan)氣(qi)次(ci)數(shu)(shu)的(de)(de)主要因素。在生(sheng)產過程中，不對(dui)(dui)其他因素產生(sheng)任何(he)影(ying)響(xiang)的(de)(de)情(qing)況下，清(qing)除微粒(li)的(de)(de)速度(du)(du)是非常重要的(de)(de)。其他可能影(ying)響(xiang)再循環空(kong)氣(qi)數(shu)(shu)量(liang)的(de)(de)因素是：房間的(de)(de)結構(gou)、設備的(de)(de)位置、設備表面溫度(du)(du)、空(kong)氣(qi)對(dui)(dui)流(liu)、氣(qi)流(liu)類型(xing)(單向通(tong)過敏(min)感區或者通(tong)過全空(kong)間)、操作空(kong)間和(he)規章、使用的(de)(de)材(cai)料(liao)和(he)化學藥品等。
潔(jie)凈室可能需要在(zai)靜態下進(jin)(jin)行鑒定(ding)，在(zai)工(gong)況下進(jin)(jin)行鑒定(ding)，對生產過程進(jin)(jin)行確認或者(zhe)cGMP認證。由綜合(he)服務管理部制定(ding)的(de)聯邦標準209(e)，建(jian)議100或90fpm。然而(er)有可能建(jian)立一個(ge)空(kong)氣(qi)流動(dong)速(su)度(du)(du)較低，但比(bi)100級(ji)潔(jie)凈度(du)(du)更(geng)高的(de)潔(jie)凈室。實(shi)際上，已經有潔(jie)凈室的(de)空(kong)氣(qi)流動(dong)速(su)度(du)(du)是45cfm/平(ping)方(fang)英(ying)尺。
2. 單向(xiang)的、紊(wen)流的、垂直或水(shui)平(ping)氣流。
花費因(yin)素變(bian)量：-0.073至(zhi)0.18
在許多(duo)案例中，單(dan)向氣(qi)(qi)流只在小(xiao)空(kong)間和(he)(he)潔(jie)凈(jing)室的(de)(de)(de)敏感區域(yu)內使(shi)用(yong)，并且使(shi)用(yong)微環(huan)境。污(wu)染(ran)物的(de)(de)(de)源頭可能存在于(yu)手套箱(xiang)、過濾模塊(kuai)等地(di)方(fang)。多(duo)數設(she)(she)計(ji)為整(zheng)體單(dan)向氣(qi)(qi)流潔(jie)凈(jing)室外的(de)(de)(de)方(fang)案，只有在這些區域(yu)中沒有作(zuo)業者、生產(chan)設(she)(she)備和(he)(he)排(pai)風裝(zhuang)置時才能實現(xian)單(dan)向氣(qi)(qi)流。垂直或水(shui)平(ping)氣(qi)(qi)流的(de)(de)(de)選擇，取決于(yu)房間的(de)(de)(de)結構和(he)(he)設(she)(she)備的(de)(de)(de)安放位(wei)置，紊(wen)流就可以將污(wu)染(ran)物帶(dai)走。
潔(jie)凈(jing)室(shi)內(nei)的(de)(de)架(jia)空(kong)地(di)(di)板(ban)(ban)(ban)是用來掩蓋(gai)工(gong)具(ju)、設備(bei)(bei)與動力設備(bei)(bei)之間的(de)(de)電線、通(tong)訊電纜、水電、管道的(de)(de)連(lian)接的(de)(de)。后來，為了節約成本(ben)，在(zai)“bay-and-chase”式的(de)(de)潔(jie)凈(jing)室(shi)結構中，這些架(jia)空(kong)地(di)(di)板(ban)(ban)(ban)被當作(zuo)從(cong)(cong)港灣到(dao)夾層的(de)(de)回(hui)(hui)內(nei)通(tong)道。在(zai)完全單向氣流的(de)(de)潔(jie)凈(jing)室(shi)內(nei)，人們希望微粒從(cong)(cong)工(gong)作(zuo)區域(yu)流到(dao)帶小孔的(de)(de)地(di)(di)板(ban)(ban)(ban)下。我們已經成功的(de)(de)建立了10級和100級的(de)(de)潔(jie)凈(jing)室(shi)，在(zai)這些潔(jie)凈(jing)室(shi)內(nei)沒有架(jia)空(kong)地(di)(di)板(ban)(ban)(ban)，采用墻下部(bu)回(hui)(hui)風(feng)系統，而(er)且潔(jie)凈(jing)室(shi)的(de)(de)氣流被設計成紊流。
另個一(yi)種辦(ban)法(fa)是用薄的(de)(de)(de)空氣(qi)噴射裝置隔離超清潔(jie)區域，這種空氣(qi)噴射的(de)(de)(de)速度(du)是每分(fen)鐘500到800英尺。它的(de)(de)(de)功能類似(si)于塑料(liao)門簾。
3. 空(kong)氣(qi)過(guo)濾。花費(fei)因素變量：-0.032至0.10
采(cai)用(yong)未(wei)端(duan)HEPA過(guo)濾(lv)(lv)器對空氣進行過(guo)濾(lv)(lv)，0.3到(dao)0.5微米(mi)(mi)的去(qu)(qu)除(chu)效(xiao)(xiao)率(lv)(lv)為(wei)(wei)99.99%,0.12微米(mi)(mi)的去(qu)(qu)除(chu)效(xiao)(xiao)率(lv)(lv)為(wei)(wei)99.999%;若使用(yong)ULPA過(guo)濾(lv)(lv)器，0.12微米(mi)(mi)的去(qu)(qu)除(chu)效(xiao)(xiao)率(lv)(lv)為(wei)(wei)99.99995%。
根(gen)據(ju)潔凈室外的(de)用(yong)(yong)途，也可以選擇其他的(de)設備，例如，在循環風加新風處理(li)(li)系(xi)統中，使用(yong)(yong)HEPA過濾(lv)器(qi)用(yong)(yong)碳吸(xi)附或相似功能的(de)合(he)成過濾(lv)器(qi)處理(li)(li)VOC，靜電過濾(lv)箱，等(deng)等(deng)。
在(zai)(zai)潔凈室(shi)(shi)市場上(shang)，風機過濾不再是新產品，正確的應用它可以為許(xu)多(duo)高水平潔凈室(shi)(shi)提供卓越的、經濟(ji)的解決方案，尤其(qi)是在(zai)(zai)吊頂(ding)高度有(you)限的建筑內。已證明降(jiang)低成(cheng)本(ben)和(he)減(jian)小過濾器(qi)的壓降(jiang)(在(zai)(zai)潔凈室(shi)(shi)壽命期內，使用低等(deng)級過濾器(qi)，長時間采用高壓降(jiang)方式運轉，所帶來的效益并(bing)不總是十(shi)分明顯)。
4. 空氣處理器。花費因(yin)素變量：-0.07至0.15
新(xin)風(feng)(feng)處理(li)空(kong)調(diao)箱(xiang)[Make-up AHU s]。典型的(de)新(xin)風(feng)(feng)處理(li)空(kong)調(diao)箱(xiang)(初級AHU s)為(wei)循(xun)環(huan)風(feng)(feng)空(kong)調(diao)箱(xiang)(二級AHU s)提(ti)供必需的(de)新(xin)風(feng)(feng)。新(xin)風(feng)(feng)由離(li)心(xin)排風(feng)(feng)機(ji)、軸流或plug風(feng)(feng)機(ji)加(jia)(jia)上過(guo)濾(lv)(lv)器、預(yu)熱和再熱用熱水盤(pan)(pan)管、冷(leng)卻和除(chu)濕(shi)使(shi)用的(de)冷(leng)凍(dong)水盤(pan)(pan)管、蒸(zheng)(zheng)汽和絕熱加(jia)(jia)濕(shi)器等(deng)組(zu)成。附件和差異包(bao)括靜電空(kong)氣混合器、蒸(zheng)(zheng)汽預(yu)熱盤(pan)(pan)管、超聲波加(jia)(jia)濕(shi)器、鹽水、除(chu)濕(shi)用的(de)直接交換(huan)[Dx]或乙二醇低(di)溫冷(leng)凍(dong)盤(pan)(pan)管、VOC吸附過(guo)濾(lv)(lv)器、噪聲衰減器，VFP(變頻)驅動(dong)等(deng)。
最近(jin)12年，M&I傳熱產品公司(位于(yu)米西所加，網(wang)址：www.miair.com)成(cheng)功(gong)地研制和(he)生產了非(fei)常經(jing)濟、可靠(kao)的風機(ji)系(xi)(xi)(xi)統(tong)。這些系(xi)(xi)(xi)統(tong)工作起來非(fei)常安靜，并且消耗(hao)的能(neng)源很(hen)低，通常比(bi)離心式或plug風機(ji)系(xi)(xi)(xi)統(tong)能(neng)耗(hao)少20%。
新(xin)風(feng)處理空(kong)(kong)調(diao)箱通道是(shi)將空(kong)(kong)氣注入集管，再通過(guo)支(zhi)管系(xi)統(tong)給循環(huan)風(feng)空(kong)(kong)調(diao)箱提供新(xin)風(feng)。在(zai)初級和(he)二級風(feng)管上進(jin)(jin)行空(kong)(kong)氣測量，并(bing)調(diao)節(jie)送風(feng)機、VFD或進(jin)(jin)口風(feng)閥(fa)以便恒定風(feng)量。Magnahelic講量器臨測安(an)裝(zhuang)在(zai)各(ge)個空(kong)(kong)調(diao)箱內HEPA過(guo)濾(lv)器布(bu)袋過(guo)濾(lv)器和(he)預(yu)過(guo)濾(lv)器的(de)荷載。有吊頂風(feng)機過(guo)濾(lv)器的(de)情況下，新(xin)風(feng)處理空(kong)(kong)調(diao)箱出(chu)來(lai)的(de)空(kong)(kong)氣進(jin)(jin)入循環(huan)風(feng)空(kong)(kong)調(diao)箱再送出(chu)。
循環風(feng)空(kong)調箱(Recirculation AHU s)。典型的循環風(feng)空(kong)調箱由高效離心式風(feng)機、過濾器和濕熱(re)(干)冷(leng)盤(pan)管(guan)組成。附加(jia)和差異包括用(yong)于(yu)局(ju)部溫度(du)控制的再熱(re)盤(pan)管(guan)、用(yong)于(yu)局(ju)部濕度(du)控制的蒸汽或超聲(sheng)波(bo)加(jia)濕器、風(feng)量恒定(ding)控制箱。這種采用(yong)Whisper-Air and Compac Space 風(feng)機系統的方式提供了一(yi)種節約(yue)成本和充分(fen)使用(yong)能(neng)源的選擇。
多重循(xun)環風(feng)(feng)(feng)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)調(diao)箱(xiang)通過(guo)(guo)送風(feng)(feng)(feng)管，再(zai)經過(guo)(guo)ULPA過(guo)(guo)濾(lv)器(qi)(qi)或HEPA過(guo)(guo)濾(lv)器(qi)(qi)，將(jiang)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)氣(qi)送入(ru)潔(jie)凈(jing)(jing)室，在(zai)潔(jie)凈(jing)(jing)度(du)等級(ji)為10級(ji)和(he)1級(ji)的潔(jie)凈(jing)(jing)間的吊頂(ding)上(shang)(shang)，這(zhe)些過(guo)(guo)濾(lv)器(qi)(qi)通常是覆(fu)蓋。垂直(zhi)單向(xiang)氣(qi)流向(xiang)下通過(guo)(guo)潔(jie)凈(jing)(jing)間，穿過(guo)(guo)帶孔(kong)的架空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)地板(ban)(ban)磚(zhuan)進(jin)入(ru)地板(ban)(ban)下面(mian)的回風(feng)(feng)(feng)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)間，再(zai)通過(guo)(guo)垂直(zhi)回風(feng)(feng)(feng)夾(jia)道向(xiang)上(shang)(shang)進(jin)入(ru)吊頂(ding)回風(feng)(feng)(feng)靜(jing)壓箱(xiang)。然(ran)后(hou)，空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)氣(qi)再(zai)次(ci)進(jin)入(ru)循(xun)環風(feng)(feng)(feng)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)調(diao)箱(xiang)，以上(shang)(shang)的空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)氣(qi)循(xun)環再(zai)次(ci)重復。如果是使用吊頂(ding)風(feng)(feng)(feng)機(ji)過(guo)(guo)濾(lv)器(qi)(qi)，在(zai)風(feng)(feng)(feng)機(ji)過(guo)(guo)濾(lv)器(qi)(qi)上(shang)(shang)面(mian)的吊頂(ding)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)間時(shi)，可以安裝水(shui)或直(zhi)接交換冷(leng)卻(que)[DX-cooled]風(feng)(feng)(feng)機(ji)盤管實現表面(mian)冷(leng)卻(que)。
5. 空(kong)氣壓差。花費因素變量：-0.041至0.08
潔凈室增壓是(shi)必(bi)須的(de)，它(ta)的(de)作(zuo)用是(shi)確保潔凈室遠離其臨(lin)近(jin)區域的(de)污(wu)(wu)染(ran)，控制有(you)害(hai)污(wu)(wu)染(ran)物的(de)流向，防止不同區域間的(de)交叉污(wu)(wu)染(ran)，并幫助保持所要求的(de)溫度和濕度水平。
潔凈室與相關走廊、設施內的(de)(de)(de)其(qi)他區(qu)域的(de)(de)(de)壓(ya)(ya)差(cha)應維持(chi)在(zai)(zai)0.25到0.005英寸(cun)水柱(in.w.g.)之間(jian)(jian)。一(yi)般(ban)制藥(yao)企業所要求(qiu)的(de)(de)(de)壓(ya)(ya)差(cha)值比這更(geng)高，在(zai)(zai)不同(tong)區(qu)域之間(jian)(jian)采用(yong)層疊(die)壓(ya)(ya)差(cha)來避免交叉污染。在(zai)(zai)不同(tong)的(de)(de)(de)區(qu)域間(jian)(jian)安裝一(yi)系列的(de)(de)(de)層疊(die)式氣(qi)(qi)閘和允許(xu)空氣(qi)(qi)快速擴散的(de)(de)(de)正(zheng)壓(ya)(ya)門(men)，從(cong)而產(chan)生(sheng)壓(ya)(ya)差(cha)。好的(de)(de)(de)微電(dian)子潔凈室設計中(zhong)，通常在(zai)(zai)潔凈室的(de)(de)(de)入口安裝一(yi)個半密封(feng)的(de)(de)(de)氣(qi)(qi)閘來使壓(ya)(ya)差(cha)保(bao)持(chi)在(zai)(zai)0.02到0。005in.w.g.之間(jian)(jian)。更(geng)衣(yi)(yi)間(jian)(jian)和穿衣(yi)(yi)間(jian)(jian)用(yong)氣(qi)(qi)閘分離(li)。入口入的(de)(de)(de)機(ji)械風(feng)淋相對于它的(de)(de)(de)必要性而言，更(geng)是設施文化和潔凈室的(de)(de)(de)原則問(wen)題(ti)。
許(xu)多微電子(zi)和光刻(ke)潔凈室成功地(di)采用被動(dong)(dong)氣壓(ya)控制(zhi)，只(zhi)有在(zai)大門(men)全(quan)部打(da)開(kai)的情況下，入口處的風量(liang)維持(chi)在(zai)每分鐘(zhong)50到100英尺。一些生物(wu)制(zhi)藥企業要(yao)求主動(dong)(dong)壓(ya)差控制(zhi)，采用補(bu)充新風的方式，自動(dong)(dong)補(bu)足(zu)通過門(men)泄漏的空氣(當門(men)打(da)開(kai)時(shi))。
壓差臨測(ce)器(qi)用(yong)(yong)來(lai)完成這(zhe)(zhe)個任務，例如Henry G.Dietz公司的產品(長島市，紐約(yue);www.lowpressure.com)。監視(shi)器(qi)可(ke)能(neng)被安裝在(zai)潔(jie)凈(jing)室(shi)外面(mian)，而(er)在(zai)潔(jie)凈(jing)室(shi)內(nei)(nei)有(you)(you)一個LED的顯示(shi)(shi)器(qi)，該顯示(shi)(shi)器(qi)帶有(you)(you)一個聲(sheng)音報警(jing)裝置(zhi)和兩個指示(shi)(shi)器(qi)，可(ke)以表(biao)示(shi)(shi)氣(qi)壓的正常與(yu)否。這(zhe)(zhe)種設備在(zai)生(sheng)物制(zhi)(zhi)藥潔(jie)凈(jing)室(shi)中有(you)(you)生(sheng)物限制(zhi)(zhi)要求的區域內(nei)(nei)通(tong)常用(yong)(yong)來(lai)測(ce)負(fu)壓值，而(er)在(zai)電(dian)子類(lei)潔(jie)凈(jing)室(shi)內(nei)(nei)，通(tong)常用(yong)(yong)來(lai)檢測(ce)負(fu)壓值，而(er)在(zai)電(dian)子類(lei)潔(jie)凈(jing)室(shi)內(nei)(nei)，通(tong)常用(yong)(yong)來(lai)檢測(ce)正壓值。它帶有(you)(you)數字壓差顯示(shi)(shi)器(qi)，顯示(shi)(shi)的度是0.001 in.w.c.,測(ce)量壓力值或真空度的范圍是0.5 in.w.c。壓差通(tong)過(guo)閃(shan)亮LED和自動報警(jing)裝置(zhi)來(lai)表(biao)示(shi)(shi)。當打(da)開大門時，設備內(nei)(nei)部有(you)(you)一個可(ke)調整的延遲報警(jing)時間，用(yong)(yong)來(lai)避免啟動聲(sheng)音報警(jing)裝置(zhi)。
6. 溫度(du)控(kong)制。花費因(yin)素變量：-0.0321至(zhi) 0.15
溫度(du)(du)和濕度(du)(du)的(de)變(bian)化能夠(gou)引(yin)起生產(chan)設備的(de)誤差，從而(er)影響生產(chan)過程的(de)可重復性，最終導致產(chan)品合格(ge)(ge)率(lv)降低、增(zeng)加浪費。因(yin)此，潔(jie)凈室對溫度(du)(du)嚴格(ge)(ge)控制要求是顯(xian)而(er)易見的(de)，這(zhe)項花費是必(bi)須的(de)。
通常(chang)情(qing)況下，要(yao)求工(gong)程師(shi)在設計時(shi)(shi)降低施工(gong)費用，同時(shi)(shi)要(yao)求在很(hen)大區域內(nei)對溫度(du)(du)進(jin)行的(de)(de)控制，允許(xu)的(de)(de)溫度(du)(du)變化(hua)范圍在±4到(dao)6華(hua)氏(shi)度(du)(du)之間(例如(ru)使用卷簾門的(de)(de)倉庫)。在沒有(you)硬(ying)墻和氣閘(zha)裝(zhuang)置(zhi)時(shi)(shi)，這(zhe)將(jiang)是(shi)十分(fen)苛(ke)刻的(de)(de)要(yao)求，并且(qie)實際(ji)上(shang)無法控制濕(shi)(shi)度(du)(du)的(de)(de)變化(hua)。人們通常(chang)認為潔(jie)凈室外的(de)(de)潔(jie)凈度(du)(du)、溫度(du)(du)、濕(shi)(shi)度(du)(du)和氣壓等(deng)項目(mu)的(de)(de)層(ceng)疊性(xing)是(shi)非常(chang)容易(yi)達到(dao)的(de)(de)，并且(qie)很(hen)容易(yi)維(wei)持，但需要(yao)仔細的(de)(de)評估這(zhe)些項目(mu)的(de)(de)誤差范圍。
如果對潔凈(jing)室(shi)內的(de)(de)暖通、動(dong)力專業裝(zhuang)置和控制(zhi)系統有嚴格(ge)要(yao)求(qiu)，例如潔凈(jing)室(shi)的(de)(de)溫度(du)控制(zhi)要(yao)求(qiu)為正負(fu)0.1華氏度(du)所用花(hua)費(fei)，可能比基準點為70華氏度(du)，±2.0度(du)(即標準要(yao)求(qiu)68到72華氏度(du))的(de)(de)高出20%到50%。
在每個潔凈室區域內(nei)(nei)，有局(ju)部自(zi)動(dong)(dong)調溫(wen)器來控制(zhi)設計(ji)溫(wen)度。它能驅動(dong)(dong)安裝在風(feng)管(guan)上的(de)局(ju)部再(zai)熱或(huo)再(zai)冷盤(pan)管(guan)工(gong)作，來滿足房間內(nei)(nei)的(de)濕(shi)熱的(de)要求。如果使用風(feng)機盤(pan)管(guan)裝置，局(ju)部自(zi)動(dong)(dong)調溫(wen)器控制(zhi)本區域內(nei)(nei)盤(pan)管(guan)出口空氣(qi)的(de)溫(wen)度。
7. 溫度(du)控制。花費(fei)因素(su)變量：-0.034至0.19
每個潔(jie)凈室內(nei)的(de)(de)相(xiang)對(dui)濕(shi)(shi)度(du)(du)(du)(du)，通(tong)過局部(bu)濕(shi)(shi)度(du)(du)(du)(du)調節(jie)器(qi)(qi)(qi)來(lai)進行控制。如果(guo)窨內(nei)的(de)(de)相(xiang)對(dui)濕(shi)(shi)度(du)(du)(du)(du)較(jiao)高，恒濕(shi)(shi)器(qi)(qi)(qi)通(tong)過降低冷凍盤(pan)管(guan)流出空氣的(de)(de)溫度(du)(du)(du)(du)來(lai)加強除濕(shi)(shi)。同時，再熱(re)盤(pan)管(guan)提供熱(re)量(liang)來(lai)保持窨的(de)(de)溫度(du)(du)(du)(du)。任何一(yi)個潔(jie)凈間的(de)(de)相(xiang)對(dui)濕(shi)(shi)度(du)(du)(du)(du)超(chao)出了設計范圍，局部(bu)恒濕(shi)(shi)器(qi)(qi)(qi)將啟動安裝(zhuang)在風(feng)管(guan)上(shang)的(de)(de)局部(bu)濕(shi)(shi)度(du)(du)(du)(du)調節(jie)器(qi)(qi)(qi)。當必須滿足的(de)(de)濕(shi)(shi)度(du)(du)(du)(du)控制時，通(tong)常利用空調箱中的(de)(de)新(xin)風(feng)的(de)(de)絕(jue)熱(re)增濕(shi)(shi)效果(guo)來(lai)實現，并通(tong)過潔(jie)凈室的(de)(de)結^***來(lai)維持。
濕(shi)(shi)度(du)水(shui)平的(de)局部變動可以通過(guo)超聲波濕(shi)(shi)度(du)調(diao)節(jie)(jie)器(qi)(qi)進行控制，該調(diao)節(jie)(jie)器(qi)(qi)位于(yu)(yu)最終過(guo)濾(lv)前的(de)風(feng)管(guan)靜(jing)壓箱內。用水(shui)水(shui)質為RO/DI，水(shui)電陰率(lv)在3到5mgm之間(jian)。如果(guo)(guo)相對(dui)濕(shi)(shi)度(du)低(di)(di)于(yu)(yu)設計范圍，恒濕(shi)(shi)器(qi)(qi)將啟動濕(shi)(shi)度(du)調(diao)節(jie)(jie)器(qi)(qi)來(lai)增加(jia)新風(feng)的(de)水(shui)分含量。如果(guo)(guo)相對(dui)濕(shi)(shi)度(du)較高(gao)，恒濕(shi)(shi)器(qi)(qi)將降低(di)(di)新風(feng)控制冷凍盤管(guan)流出(chu)空(kong)氣的(de)^***溫度(du)，從而加(jia)強除濕(shi)(shi)效(xiao)果(guo)(guo)。
8. 排風(feng)系統。花費(fei)因素變量(liang)：-0.031至(zhi)0.16
典型的(de)工藝排風(feng)系統包(bao)括：酸(suan)、溶劑(ji)和(he)VOC、毒性物質、熱和(he)一般的(de)房間排風(feng)。如果廢氣中(zhong)有氨氣出現(xian)，一些廠家會(hui)選擇(ze)使(shi)用分開的(de)風(feng)管系統和(he)處理系統。使(shi)用最多、最普(pu)遍的(de)酸(suan)消除方(fang)法，是水平或(huo)垂直氣體洗滌塔。溶劑(ji)和(he)VOC的(de)去除通(tong)常運用就地或(huo)當場高溫破壞的(de)方(fang)法。需要認(ren)真選擇(ze)支(zhi)隊的(de)方(fang)式及必須支(zhi)隊的(de)廢氣流(liu)量。
優(you)質的(de)(de)(de)(de)(de)(de)空氣處理設備能夠將(jiang)廢氣量(liang)(liang)降(jiang)至(zhi)更低(di)，因此，在(zai)(zai)實施過(guo)程中可降(jiang)低(di)工程費(fei)用(yong)和能源浪費(fei)。保(bao)持(chi)排風(feng)(feng)量(liang)(liang)增加的(de)(de)(de)(de)(de)(de)潛在(zai)(zai)需求、擴大生(sheng)產(chan)和安裝這些備用(yong)品所需的(de)(de)(de)(de)(de)(de)經(jing)(jing)濟價值之(zhi)間的(de)(de)(de)(de)(de)(de)平衡是(shi)十(shi)分(fen)(fen)重(zhong)要的(de)(de)(de)(de)(de)(de)。通常情況下，考(kao)慮到潔凈(jing)室將(jiang)來(lai)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)擴展(zhan)，當其它(ta)動力設備和暖通、動力專業(ye)系統(例如(ru)新(xin)風(feng)(feng)和冷卻(que))不能滿足這種擴充的(de)(de)(de)(de)(de)(de)需求時，超(chao)大的(de)(de)(de)(de)(de)(de)昂貴(gui)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)、不銹鋼襯(chen)里(li)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)或(huo)(huo)FRP排風(feng)(feng)系統就已(yi)經(jing)(jing)建(jian)立了。沒有考(kao)慮將(jiang)來(lai)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)需求而建(jian)立的(de)(de)(de)(de)(de)(de)酸排隊系統也是(shi)十(shi)分(fen)(fen)普遍的(de)(de)(de)(de)(de)(de)。增加風(feng)(feng)量(liang)(liang)和新(xin)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)風(feng)(feng)管支管，，就會使風(feng)(feng)管系統中的(de)(de)(de)(de)(de)(de)風(feng)(feng)速超(chao)過(guo)每分(fen)(fen)鐘(zhong)4000英尺(chi)。這樣(yang)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)系統保(bao)持(chi)平衡是(shi)十(shi)分(fen)(fen)困難的(de)(de)(de)(de)(de)(de)或(huo)(huo)不可能的(de)(de)(de)(de)(de)(de)，并且運行的(de)(de)(de)(de)(de)(de)費(fei)用(yong)昂貴(gui)。
9. 振動和噪聲控制。花費因素變量：-0.027至(zhi)0.10
設備(bei)的(de)(de)(de)大小(xiao)和重量影響振動(dong)(dong)的(de)(de)(de)傳播及(ji)控(kong)制。潔(jie)凈(jing)室地(di)板(ban)(ban)(ban)下(xia)面的(de)(de)(de)“華夫(waffle)”混凝(ning)(ning)土板(ban)(ban)(ban)層(ceng)，能夠很好地(di)避免將設備(bei)的(de)(de)(de)振動(dong)(dong)傳送到其他(ta)生產區域或度量衡工具上(shang)。即使為(wei)了(le)安(an)裝管道而在潔(jie)凈(jing)室的(de)(de)(de)地(di)面上(shang)鉆洞(dong)，Waffle混凝(ning)(ning)土板(ban)(ban)(ban)層(ceng)仍能保(bao)持其風性。因為(wei)地(di)板(ban)(ban)(ban)的(de)(de)(de)強度在于它的(de)(de)(de)柵格系統，并可進行(xing)重新整理(li)。因此可在地(di)板(ban)(ban)(ban)上(shang)沖壓額外的(de)(de)(de)孔洞(dong)，而不會對振動(dong)(dong)因素有任何副作(zuo)用。
所有的(de)(de)(de)暖通、動力專(zhuan)業(ye)設(she)備應使(shi)用(yong)彈(dan)簧、軟件(jian)接和(he)隔離(li)安裝(zhuang)等(deng)隔絕振(zhen)(zhen)動的(de)(de)(de)方式，將振(zhen)(zhen)動效應降到更低。低噪(zao)音的(de)(de)(de)節能(neng)風機(ji)和(he)馬達，可以用(yong)來(lai)維持潔凈室NC水(shui)平(ping)。振(zhen)(zhen)動和(he)噪(zao)聲方面的(de)(de)(de)專(zhuan)家應是(shi)評估小組(zu)的(de)(de)(de)成(cheng)員(yuan)，他們(men)來(lai)用(yong)于(yu)振(zhen)(zhen)動和(he)噪(zao)聲方面的(de)(de)(de)專(zhuan)家應是(shi)評估小組(zu)的(de)(de)(de)成(cheng)員(yuan)，他們(men)來(lai)核實用(yong)于(yu)振(zhen)(zhen)動和(he)噪(zao)聲控(kong)制中(zhong)的(de)(de)(de)機(ji)械和(he)建筑學原理(li)。完工(gong)(gong)后的(de)(de)(de)再處理(li)可能(neng)是(shi)十(shi)分昂貴的(de)(de)(de)。如果建筑師(shi)(shi)、暖通、動力專(zhuan)業(ye)工(gong)(gong)程(cheng)師(shi)(shi)、業(ye)主(zhu)和(he)顧問從設(she)計的(de)(de)(de)開始就考(kao)慮這(zhe)些因素，可以免(mian)去許多潛在(zai)的(de)(de)(de)昂貴的(de)(de)(de)檢測，或用(yong)更經濟(ji)的(de)(de)(de)辦法取代。
10. 磁(ci)通量和電(dian)磁(ci)通量。花費因素變量：0.037至0.15
磁通量(liang)被認(ren)為(wei)(wei)是(shi)(shi)銀河系(xi)中海洋微粒背景的(de)(de)(de)(de)流(liu)(liu)量(liang)。銀河系(xi)的(de)(de)(de)(de)放置也(ye)被認(ren)為(wei)(wei)是(shi)(shi)自然界的(de)(de)(de)(de)電(dian)磁循環。“通量(liang)”這(zhe)個(ge)詞代表(biao)流(liu)(liu)量(liang)，我(wo)們(men)可以認(ren)為(wei)(wei)磁力(li)線就(jiu)(jiu)象某種液體流(liu)(liu)動的(de)(de)(de)(de)路線那(nei)樣穿過一個(ge)假想的(de)(de)(de)(de)表(biao)面(mian)(mian)。磁場的(de)(de)(de)(de)大小代表(biao)流(liu)(liu)動的(de)(de)(de)(de)速(su)度，它的(de)(de)(de)(de)方(fang)向(xiang)就(jiu)(jiu)是(shi)(shi)流(liu)(liu)動的(de)(de)(de)(de)方(fang)向(xiang)。磁通量(liang)就(jiu)(jiu)是(shi)(shi)流(liu)(liu)過這(zhe)個(ge)表(biao)面(mian)(mian)的(de)(de)(de)(de)所有的(de)(de)(de)(de)容量(liang)。為(wei)(wei)了(le)更好地理解，我(wo)們(men)可以認(ren)為(wei)(wei)磁通量(liang)就(jiu)(jiu)是(shi)(shi)穿過這(zhe)個(ge)表(biao)面(mian)(mian)的(de)(de)(de)(de)磁力(li)線的(de)(de)(de)(de)數量(liang)。
對(dui)于給定的速(su)度，當(dang)微粒移動的方向垂直于磁場(chang)方向時，磁力是更大的，當(dang)與磁場(chang)方向平等運動時，磁場(chang)力為零。
在(zai)大多(duo)數(shu)基(ji)本水平，移動(dong)(dong)電荷之間的相互作(zuo)用產生(sheng)(sheng)磁力，就象靜(jing)電產生(sheng)(sheng)于導(dao)電電荷與其他導(dao)電電荷(不論他們是否運動(dong)(dong))之間的相互作(zuo)用。
通(tong)過(guo)對行星的(de)(de)(de)拍照(zhao)研究表明，由于(yu)地球的(de)(de)(de)放(fang)置(zhi)和(he)它熔(rong)化的(de)(de)(de)金(jin)屬內核使得它有(you)一個強大(da)的(de)(de)(de)磁場。磁通(tong)量的(de)(de)(de)密度(替代(dai)“牛頓的(de)(de)(de)每安(an)培米”)有(you)它自己的(de)(de)(de)單位---特(te)斯拉(la)。地球表面的(de)(de)(de)磁場近似代(dai)表值是二分之一高斯，大(da)約是200,000特(te)斯拉(la)。在對公(gong)眾開放(fang)的(de)(de)(de)區(qu)域內，職業安(an)全和(he)健康要求(qiu)磁場強度不能大(da)于(yu)5個高斯。
潔(jie)凈(jing)室(shi)的(de)磁(ci)場防護(hu)是十分昂貴的(de)。例如，潔(jie)凈(jing)室(shi)使用(yong)4到5毫(hao)米(mi)厚(hou)的(de)磁(ci)性(鐵--硅(gui))鋼板(ban)(M15型)作為屏蔽(bi)材料仍不(bu)能(neng)滿足要求(qiu)。當前的(de)半導體、度量衡和通訊實驗室(shi)區域內要求(qiu)磁(ci)通量的(de)強度限制在0.05高斯或更低。
曾經有一個(ge)非常昂貴的(de)(de)(de)(de)潔凈(jing)(jing)室(shi)在(zai)建成(cheng)后不久就關閉了，因為(wei)它所在(zai)的(de)(de)(de)(de)位置有很(hen)高(gao)的(de)(de)(de)(de)磁(ci)通量(liang)(liang)。另一個(ge)潔凈(jing)(jing)室(shi)失敗因為(wei)安的(de)(de)(de)(de)生產地板下面埋了幾英尺的(de)(de)(de)(de)一條高(gao)容量(liang)(liang)的(de)(de)(de)(de)高(gao)壓電纜。再一次強調，如果(guo)在(zai)項(xiang)目(mu)的(de)(de)(de)(de)開始對這些因素進行評估，可能會(hui)找(zhao)到解決(jue)措施并且節約時間和(he)成(cheng)本(ben)。事(shi)實上(shang)，磁(ci)場屏蔽的(de)(de)(de)(de)成(cheng)本(ben)也是(shi)應該考(kao)慮的(de)(de)(de)(de)。
11. 空氣和物體(ti)表面的靜電荷。花費(fei)因素變量：0.0327至0.12
“靜電(dian)”是由于兩(liang)個(ge)獨(du)立的(de)表(biao)面(mian)相(xiang)互接觸而(er)產生的(de)。不(bu)同表(biao)面(mian)產生的(de)電(dian)荷，如果不(bu)能(neng)以足夠(gou)快的(de)速度傳導(dao)到地面(mian)，那么它們會聚集并散布在材料的(de)表(biao)面(mian)----這就是“靜電(dian)”。
工業范圍(wei)很(hen)多區域內殘余(yu)的(de)靜電荷(he)，會造成(cheng)危險并引發問題。它能引起(qi)易燃氣體的(de)燃燒(shao)和人體觸(chu)電。它能使薄的(de)薄膜(mo)和輕纖維粘(zhan)連、吸附空氣中的(de)塵埃和碎片、損害半導體設備和干擾微(wei)電子設備的(de)運行。
關(guan)于易燃氣(qi)體(ti)、水(shui)蒸汽和(he)粉(fen)塵的(de)危險與(yu)兩方面的(de)因素有關(guan)，其一是與(yu)電(dian)容(rong)儲存能量相(xiang)關(guan)，涉及(ji)到最(zui)小起爆能;另一方面是與(yu)最(zui)小間距的(de)破壞電(dian)壓相(xiang)關(guan)，這可以(yi)引(yin)發著火。
典型的，一(yi)般碳氫化合物氣體(ti)或空氣混合物的最小起爆能是(shi)0.2 毫(hao)焦耳，并產生至少幾千伏的擊穿電壓(ya)。對(dui)于粉塵，最小起爆能是(shi)幾毫(hao)焦耳。
靜電(dian)荷放電(dian)引(yin)起的震(zhen)動(dong)(dong)大約在1毫焦耳時(shi)是可以辨別的，當(dang)震(zhen)動(dong)(dong)在10到(dao)100毫焦耳范(fan)圍內(nei)時(shi)很(hen)可能(neng)使人(ren)感覺不舒服(fu)。1焦耳以上(shang)的能(neng)量(liang)將(jiang)引(yin)起人(ren)體(ti)(ti)主要(yao)肌肉(rou)的收縮。當(dang)靜電(dian)作用力與重力或其他約束(shu)力相當(dang)時(shi)，將(jiang)產生機械(xie)操作難題。這與局(ju)部電(dian)場的引(yin)力有(you)關(guan)，因(yin)此，絕緣(yuan)體(ti)(ti)與表面電(dian)荷密度有(you)關(guan)。
一般情況下，靜(jing)電作用力(li)是(shi)微(wei)弱的，但(dan)是(shi)當電荷密(mi)度小于(yu)幾毫焦耳10-7/㎡時，灰塵就將被吸附在它的表面。人們進行正常的活動時會產(chan)生靜(jing)電，例如在地(di)毯上行走(zou)、從椅子上站起、磨擦衣(yi)服的表面等。在濕(shi)度較(jiao)低的環(huan)境(jing)和廣泛使(shi)用人造纖(xian)維的環(huan)境(jing)，產(chan)生靜(jing)電荷更(geng)高。身體電壓可高達到(dao)15千伏。
通(tong)過帶電(dian)(dian)織物(wu)、帶電(dian)(dian)體、手持金屬物(wu)體等(deng)可(ke)進(jin)行靜(jing)電(dian)(dian)放(fang)(fang)電(dian)(dian)。這(zhe)些靜(jing)電(dian)(dian)放(fang)(fang)電(dian)(dian)可(ke)能產(chan)生高電(dian)(dian)壓，能夠越過設備外包裝(zhuang)內(nei)的幾(ji)(ji)毫米空隙直接進(jin)入(ru)內(nei)部電(dian)(dian)路。放(fang)(fang)電(dian)(dian)可(ke)產(chan)生幾(ji)(ji)安培的電(dian)(dian)流(liu)，使頻率(lv)上升到幾(ji)(ji)百兆赫---特(te)別是金屬導體充(chong)當(dang)放(fang)(fang)電(dian)(dian)源時。
靜電(dian)對(dui)于半導體(ti)(ti)設備的(de)(de)危害(hai)取決于設備的(de)(de)類型和設計方案。互補金屬(shu)氧化物半導體(ti)(ti)(CMOS)設備和精細幾(ji)何結構特別(bie)容(rong)易受(shou)影響(xiang)。盡(jin)管損害(hai)很可能(neng)(neng)與(yu)放電(dian)能(neng)(neng)量和電(dian)壓(ya)有關，但風險的(de)(de)表(biao)(biao)示方式與(yu)“人體(ti)(ti)模型”放電(dian)電(dian)壓(ya)有關。經驗(yan)表(biao)(biao)明大約在50伏(fu)(fu)特時，損害(hai)的(de)(de)靈(ling)敏(min)度(du)降低。微電(dian)子系統混亂所產(chan)生的(de)(de)問(wen)題通常(chang)也被表(biao)(biao)示成與(yu)人體(ti)(ti)模型放電(dian)有關。系統必須能(neng)(neng)經受(shou)幾(ji)千(qian)伏(fu)(fu)特的(de)(de)電(dian)壓(ya)(不受(shou)控制的(de)(de)環境(jing)應在15千(qian)伏(fu)(fu)特以上)，因為在正常(chang)工(gong)作(zuo)環境(jing)中(zhong)，人們在地板(ban)上走動等(deng)活(huo)動能(neng)(neng)很輕易的(de)(de)產(chan)生高電(dian)壓(ya)。
為了減少風險，避免潛(qian)在的問(wen)(wen)題(ti)，必(bi)須確保能夠比產生(sheng)靜(jing)(jing)電荷(he)更快(kuai)的速度將(jiang)其驅(qu)散。對醞標準的手工操作和人體活動，電荷(he)的衰減時間必(bi)須是0.25秒或者更少。與風險控(kong)制有關的新觀(guan)念是，如(ru)果靜(jing)(jing)電荷(he)遇到高電容(rong)的某種材料，那么表面電壓就會(hui)降低，于是潛(qian)在的問(wen)(wen)題(ti)和損害就可以(yi)防范(fan)。許多公(gong)司已經采(cai)取一些(xie)措(cuo)施來預防靜(jing)(jing)電，例如(ru)安裝導(dao)電地板或導(dao)電的袋子來儲(chu)存和傳(chuan)送零(ling)部(bu)件(jian)。
避免因靜(jing)電放(fang)(fang)電對微(wei)電子系統產(chan)生影響的(de)最基本的(de)方法是，將設備(bei)安放(fang)(fang)在良好的(de)靜(jing)電和磁場屏(ping)蔽場所內，恰當減(jian)少所有的(de)輸入和輸出連接。
12. 能源和生產費用。花費因素變量：-0.017至0.15
如表2所示，再循環AHU風機(ji)和冷(leng)(leng)卻空氣的DX裝置產生(sheng)的成本(ben)是引人(ren)關注(zhu)的，大約是全部(bu)HVAC生(sheng)產成本(ben)的35%。使用最新(xin)設計(ji)的裝置能夠節約生(sheng)產成本(ben)，例(li)如風機(ji)過(guo)濾VFD驅動、高效率馬達、帶有冷(leng)(leng)卻塔的冷(leng)(leng)卻系統(tong)、局部(bu)熱水再熱循環、絕熱加濕。
潔凈室(shi)的嚴格清潔要求(qiu)與它(ta)固(gu)有(you)的高生產(chan)成(cheng)本相關。然而，如果事先(xian)計劃好(hao)，可以大(da)大(da)降低成(cheng)本：
l 定義潔凈室級別，滿足工藝要(yao)求(qiu)。
l 定義潔凈室空氣溫度和濕度，滿足工藝要求。
l 潔凈室(shi)外的排(pai)風量(liang)應(ying)滿(man)足工藝(yi)的更低要求，一(yi)開始就進行排(pai)風管(guan)理程(cheng)序。在(zai)(zai)設計開始，就在(zai)(zai)所有的排(pai)氣(qi)支管(guan)和工藝(yi)設備(bei)上提(ti)供氣(qi)流和壓差(cha)的批(pi)示(shi)儀器。
l 通過(guo)確定設備風速(su)的更大值和最小值，來(lai)降(jiang)低風管(guan)和管(guan)道的壓降(jiang)，在施工整個過(guo)程中貫(guan)徹(che)這些指導方(fang)針。
l 使用(yong)微環境(jing)、手套箱、真空室和(he)模塊式圍(wei)擋;減少大(da)窨的需求，從而降(jiang)低生(sheng)產成本。
l 使用帶VFD(變頻)驅動的高效率馬達(da)。
l 使用補(bu)充循環和(he)排風系統來減少壓降并(bing)節約(yue)空間。
13. 形(xing)式和功能。花費因(yin)素變量(liang)：-0.038至(zhi)0.16
一般而(er)言，20,000到(dao)30,000平方英(ying)(ying)尺(chi)(chi)的潔凈(jing)(jing)室面積需(xu)要60,000到(dao)90,000平方英(ying)(ying)尺(chi)(chi)的建(jian)筑面積。為(wei)了在高(gao)度(du)方面有大(da)(da)約(yue)10英(ying)(ying)尺(chi)(chi)的間(jian)隙空間(jian)，建(jian)筑高(gao)度(du)必(bi)須要在大(da)(da)約(yue)21到(dao)26英(ying)(ying)尺(chi)(chi)。另外應在潔凈(jing)(jing)室外層上面或下面另有12到(dao)16英(ying)(ying)尺(chi)(chi)的空間(jian)用(yong)于安裝暖通、動力(li)專業設備。
為了有更大(da)限度的靈(ling)活性，潔凈室內(nei)部不應(ying)有任何的柱子。屋頂(ding)結(jie)構(gou)應(ying)有最小深度，并且能夠隨每(mei)平方英尺100至200磅(bang)的負荷(he)，以便安裝(zhuang)那(nei)些懸掛在上(shang)部結(jie)構(gou)的水管(guan)、風(feng)管(guan)和(he)空氣處理裝(zhuang)置。
通常(chang)情(qing)況下(xia)，間(jian)(jian)隙(xi)空間(jian)(jian)被用來作為回風靜壓箱。因此，這些個(ge)空間(jian)(jian)和(he)建(jian)筑物(wu)應(ying)用陰燃(ran)材料(liao)建(jian)造。間(jian)(jian)隙(xi)空間(jian)(jian)，也就是吊頂下(xia)面的(de)空間(jian)(jian)，應(ying)該有(you)噴淋裝置。
應嚴(yan)格執行(xing)(xing)現行(xing)(xing)的防火協會(NFPA)法規(gui)，連同當地安全(quan)法規(gui)一(yi)起(qi)執行(xing)(xing)。獲得施工許可(ke)證(zheng)(生產許可(ke)證(zheng))可(ke)能是長期的、昂貴(gui)的，如果(guo)不(bu)執行(xing)(xing)全(quan)部建筑(zhu)和防火安全(quan)法規(gui)將是無效(xiao)的。同樣的，所有(you)豁免和條款解釋需要有(you)文件(jian)證(zheng)明，并事先通過官方的批(pi)準(zhun)。
潔(jie)(jie)凈室(shi)(shi)的(de)(de)(de)外(wai)面如果有足夠的(de)(de)(de)窨用來安裝暖通(tong)、動(dong)力和(he)(he)工藝設備(bei)(bei)，例如，冷凍(dong)機、熱交換器、泵、DI水設備(bei)(bei)、儲液槽(cao)等(deng)，那么潔(jie)(jie)凈間可沿著潔(jie)(jie)凈室(shi)(shi)的(de)(de)(de)內(nei)墻建立。理想的(de)(de)(de)情(qing)況是(shi)，在(zai)設計(ji)者和(he)(he)業主確定處理管(guan)路(lu)溝槽(cao)的(de)(de)(de)要求，和(he)(he)對振動(dong)敏感的(de)(de)(de)設備(bei)(bei)的(de)(de)(de)安裝位置以前，潔(jie)(jie)凈室(shi)(shi)不應該(gai)灌注(zhu)水泥地(di)板(ban)。地(di)下室(shi)(shi)或(huo)次地(di)下室(shi)(shi)空間對于工藝和(he)(he)動(dong)力管(guan)道(dao)系(xi)統、工具和(he)(he)生(sheng)產設備(bei)(bei)的(de)(de)(de)電纜分(fen)布、排風和(he)(he)回風管(guan)道(dao)系(xi)統來講是(shi)必(bi)需的(de)(de)(de)。
通(tong)常(chang)需要有(you)非常(chang)大的(de)占有(you)足夠(gou)空(kong)間電器設(she)備。在這(zhe)種情況下，必(bi)須(xu)確認有(you)足夠(gou)的(de)動力供應。與半導體和藥品生產(chan)相關的(de)高用水(shui)量，要求(qiu)廢話水(shui)處理的(de)容量和下水(shui)管(guan)線足夠(gou)大，以便對預其的(de)污水(shui)進(jin)行處理。目標永遠是排(pai)放最水(shui)的(de)廢水(shui)。今天，零排(pai)放的(de)設(she)備是十分普遍的(de)，它(ta)不再是目前發展水(shui)平(ping)的(de)特點。
一(yi)個(ge)有(you)經驗的(de)(de)建筑師對潔(jie)凈(jing)室設(she)備輸入能量(liang)的(de)(de)設(she)計不(bu)能被夸大或忽略。這對于(yu)設(she)備的(de)(de)品(pin)質和成本效率有(you)巨大的(de)(de)影響(xiang)。應對高科技設(she)備的(de)(de)功能進行全(quan)面(mian)了解，從而確定(ding)是否采用(yong)該設(she)備。潔(jie)凈(jing)室外的(de)(de)細節決(jue)定(ding)了設(she)備的(de)(de)建筑方案，就(jiu)象(xiang)速度的(de)(de)要求(qiu)決(jue)定(ding)了賽車的(de)(de)大小和形狀。
對設(she)備作用(yong)及現在和將來的需(xu)求(qiu)有(you)充分認(ren)識的潔凈室(shi)建筑師，配合(he)合(he)格(ge)的潔凈室(shi)暖(nuan)通、動力(li)專業設(she)計工程師、結(jie)構和電氣(qi)專家和業主組成團隊，是(shi)每個成功設(she)計的必需(xu)。
14. 微粒。花費因素變量：-0.040至0.15
15. 工藝管道系統。花費(fei)因素變(bian)量：-0.021至0.20
不應取(qu)消這些(xie)因(yin)素(su)(14和15)對于成本影響的(de)討(tao)論，同時，因(yin)為(wei)這些(xie)變(bian)量對于每個工廠都是獨特的(de)，更好不要對它(ta)進(jin)行綜合評論。不過，它(ta)們會在內部表格內提及。
只有時間能夠告訴(su)我們……
潔(jie)凈(jing)(jing)室設(she)施的設(she)計過程是動態的，并具(ju)有(you)創造性的。我(wo)所說的內容不(bu)會一成不(bu)變，法凈(jing)(jing)室可能發展成與我(wo)們今天所了解的完全(quan)不(bu)同的潔(jie)凈(jing)(jing)室。
微環境、屏蔽(bi)技(ji)術、手套箱和自(zi)動控制(zhi)已(yi)經改(gai)變了潔(jie)凈室(shi)的外觀和運(yun)行。但是，與今天(tian)的潔(jie)凈室(shi)在幾(ji)十(shi)年(nian)前還是聞所(suo)未聞一(yi)樣，明天(tian)生產(chan)設(she)備(bei)的技(ji)術將勿(wu)庸置疑地向我們展現(xian)出(chu)非凡的驚喜，并向我們今天(tian)的所(suo)有發出(chu)挑戰(zhan)。
