無塵室有五個特性：
（l）耐久性(xing)；（2）成本；（3）適應性(xing)；（4）可維(wei)護(hu)性(xing)；（5）清洗。
（1）耐久性：
無(wu)塵室(shi)要(yao)有符合環境、無(wu)塵室(shi)內(nei)部的清洗溶液及振動、設備、空氣過濾系(xi)統的耐久(jiu)材料(liao)。而耐久(jiu)性(xing)，同時也依賴(lai)無(wu)塵室(shi)等級來(lai)建(jian)造。半導體Fabs傾向選擇鋁，基于它(ta)的耐久(jiu)性(xing)，然而，它(ta)不是便宜的物質。
（2）清洗：
在制藥和生(sheng)物(wu)工學工業，無塵(chen)室的(de)(de)墻(qiang)壁需要有容易(yi)被清(qing)洗和擦(ca)拭，直到(dao)防止濾過性病毒或細菌的(de)(de)污(wu)染之特(te)性。在biotech市場(chang)，清(qing)洗真正地是一個最(zui)重要的(de)(de)企業。
（3）成本：
微電子C/R建設費可能(neng)花費到$10億。fab能(neng)更快的被建造起來，產品也(ye)就能(neng)更快達到這市(shi)場。許多(duo)半導體公司的口號是較便(bian)宜和較好的。然而“錢”將成為一個很重要(yao)的考慮(lv)因素。
（4）適應性：
一(yi)些廠商(shang)認為(wei)適(shi)應性可節省一(yi)筆金(jin)錢，而適(shi)應性意(yi)指系統可任意(yi)移動(dong)或改變而不會招致極大的損(sun)失(shi)。C/R的擁有者和設計(ji)者的能力為(wei)改變一(yi)C/R的關鍵，所以他們(men)從不將最初的設計(ji)定型(xing)。
（5）維護性：
對無塵室C/R而言，較嚴格(ge)要求的(de)(de)部分為(wei)地(di)(di)板(ban)、天(tian)花板(ban)，以及(ji)(ji)墻(qiang)壁(bi)的(de)(de)部分。至于維(wei)修的(de)(de)問題，對材料的(de)(de)選擇是(shi)否容易清潔性及(ji)(ji)維(wei)修性都應(ying)有其優(you)先級。在(zai)應(ying)用力(li)面、天(tian)花板(ban)、地(di)(di)板(ban)及(ji)(ji)墻(qiang)壁(bi)三者之中最重要的(de)(de)為(wei)天(tian)花板(ban)，其包含HEPA及(ji)(ji)ULPA等濾(lv)網，其可(ke)過濾(lv)掉房間的(de)(de)微粒子，且其常會因(yin)各(ge)個不同(tong)的(de)(de)需要，便其分開來，供應(ying)各(ge)個不同(tong)區域的(de)(de)小房間，曾有人說：若建造之預(yu)算因(yin)某種(zhong)原因(yin)被(bei)限制，除(chu)了少數的(de)(de)小錢外，其天(tian)花板(ban)將趨于更貴的(de)(de)地(di)(di)步，其實天(tian)花板(ban)是(shi)一(yi)個頗(po)復雜(za)的(de)(de)系統其必(bi)須嚴格(ge)地(di)(di)過濾(lv)粒子，故其設計必(bi)須。
許多(duo)了解無塵(chen)室的人都(dou)贊同，次擁(yong)有無塵(chen)室的擁(yong)有者，應使用較好(hao)之C/R建筑或(huo)工(gong)程設計公司或(huo)了解建筑C/R設計之建筑承包商若(ruo)假(jia)設他們不了解，則(ze)必會浪(lang)費一大筆不必要(yao)花的錢(qian)，故選擇一建造(zao)C/R的公司也(ye)是非(fei)常重要(yao)的。
對C/R而言，其(qi)選擇地(di)(di)板(ban)(ban)的(de)(de)材料也是很重要(yao)的(de)(de)。低廉(lian)的(de)(de)C/R地(di)(di)板(ban)(ban)覆蓋著一層(ceng)乙烯基(ji)(ji)在(zai)薄板(ban)(ban)上，若太(tai)硬的(de)(de)地(di)(di)板(ban)(ban)覆蓋會(hui)引起塵埃，而太(tai)軟的(de)(de)地(di)(di)板(ban)(ban)會(hui)造成地(di)(di)板(ban)(ban)彎曲甚(shen)致(zhi)破裂，但并不是所有(you)C/R的(de)(de)地(di)(di)板(ban)(ban)，都(dou)會(hui)覆蓋，乙烯基(ji)(ji)。有(you)些(xie)地(di)(di)板(ban)(ban)是沖孔式、格子(zi)式，而全面層(ceng)流都(dou)是沖孔式。
乙烯(xi)基有一作用即(ji)脫(tuo)氧(yang)(yang)，但(dan)高濃(nong)度乙烯(xi)基與其(qi)它物若混合(he)的話將會有減(jian)低脫(tuo)氧(yang)(yang)的效果(guo)，而無塵室的墻若以鋁作為(wei)材(cai)料則將會非常昂(ang)貴，但(dan)鋁卻(que)可以保護墻面不被空(kong)氣所氧(yang)(yang)化(hua)，可是卻(que)易(yi)(yi)受(shou)酸性氣體的侵(qin)蝕，而避免(mian)的方法是使用電(dian)鍍，便鋁表面增厚，不易(yi)(yi)氧(yang)(yang)化(hua)，再在(zai)鋁表面上再涂上一層亮光漆即(ji)可防(fang)止金屬氧(yang)(yang)化(hua)。
對(dui)于(yu)半導體工(gong)業而言，無塵室(shi)是(shi)一必要且不(bu)可缺之設(she)備，其對(dui)空氣(qi)中的(de)粒子要求非常之嚴(yan)格(ge)，故對(dui)天花板(ban)、墻壁、地(di)板(ban)的(de)要求亦(yi)非常嚴(yan)格(ge)。地(di)板(ban)是(shi)人員、臺(tai)車及(ji)(ji)重量的(de)運輸，而清除地(di)板(ban)所用(yong)者(zhe)大部(bu)分為消毒藥品(pin)及(ji)(ji)化學藥品(pin)，當我們看見地(di)板(ban)磨(mo)損時(shi)，也就是(shi)使用(yong)期(qi)已太久(jiu)，快破裂了，不(bu)僅會(hui)使得清靜度的(de)降級，也會(hui)因(yin)地(di)板(ban)的(de)磨(mo)損而發生空氣(qi)中粒子的(de)增加。
另外，C/R最怕(pa)的就(jiu)是粒子泄(xie)漏(lou)。天(tian)花板(ban)中的濾網有(you)很多種(zhong)。例如層(ceng)流式(shi)C/R而花板(ban)的組成組件包含了HEPA/ULPA濾網組燈光(guang)組亦有(you)可能包含空白的嵌(qian)板(ban)，這類型的天(tian)花板(ban)優(you)點為，放置方式(shi)并沒有(you)嚴格的限制。
C/R之墻壁還(huan)有一種(zhong)是以薄鋼制成，但(dan)必須在(zai)表(biao)層(ceng)(ceng)涂(tu)上一層(ceng)(ceng)保(bao)護(hu)(hu)層(ceng)(ceng)，否(fou)則(ze)亦(yi)會(hui)腐蝕，它并不(bu)容易電鍍，而(er)(er)在(zai)表(biao)層(ceng)(ceng)涂(tu)上的(de)保(bao)護(hu)(hu)層(ceng)(ceng)會(hui)變得(de)易碎(sui)，很容易剝(bo)落，但(dan)若選擇高質(zhi)量的(de)不(bu)銹鋼，就(jiu)不(bu)必涂(tu)上保(bao)護(hu)(hu)層(ceng)(ceng)7，而(er)(er)使(shi)用玻璃作(zuo)的(de)C/R會(hui)使(shi)得(de)房間的(de)光(guang)線(xian)大增，以及美(mei)觀，但(dan)必須涂(tu)上一抗紫(zi)外(wai)線(xian)的(de)障礙物，且可以視覺互通，較(jiao)不(bu)會(hui)產生幽(you)閉恐(kong)懼癥。
無塵(chen)室用(yong)空調箱選用(yong)時應注(zhu)意的事項
本篇文章(zhang)所討(tao)論到問(wen)題(ti)就(jiu)是(shi)選用(yong)清(qing)凈室(shi)之(zhi)AHU所應考(kao)慮到的(de)(de)問(wen)題(ti)。對每個工(gong)程(cheng)師或設計師而言，選用(yong)清(qing)凈室(shi)的(de)(de)空(kong)調系統(tong)大概(gai)是(shi)最復雜(za)(za)的(de)(de)問(wen)題(ti)之(zhi)一，因為清(qing)凈室(shi)之(zhi)空(kong)調條件(jian)要(yao)比平(ping)常的(de)(de)空(kong)調區間來的(de)(de)復雜(za)(za)且較嚴格，人都用(yong)于醫院、藥品制造、精密電子零(ling)件(jian)制造場(chang)等(deng)。
選用正確的設(she)備是設(she)計者應(ying)盡的義務。本(ben)篇文章將(jiang)其分成幾(ji)個(ge)部(bu)份作討論，吾(wu)將(jiang)其作為(wei)整理后作成下列(lie)報告。
（一）就政府法(fa)令而言
各個(ge)政(zheng)府(fu)對清(qing)凈式的設(she)計(ji)條件要(yao)(yao)求(qiu)不同，應(ying)(ying)注意設(she)計(ji)時(shi)政(zheng)府(fu)之時(shi)令。設(she)計(ji)清(qing)凈室(shi)之AHU應(ying)(ying)府(fu)合(he)FDA或(huo) EPA排(pai)放空氣(qi)法則。IAQ已漸(jian)漸(jian)被重視，設(she)計(ji)時(shi)應(ying)(ying)注意IAQ之法規。視使(shi)用場合(he)而定，過(guo)濾(lv)(lv)(lv)方法又(you)可分成(cheng)機(ji)械(xie)過(guo)濾(lv)(lv)(lv)法與化(hua)學過(guo)濾(lv)(lv)(lv)法。初級過(guo)濾(lv)(lv)(lv)，中級過(guo)濾(lv)(lv)(lv)，高效過(guo)濾(lv)(lv)(lv)與無菌的環境以機(ji)械(xie)過(guo)濾(lv)(lv)(lv)法即(ji)能達(da)成(cheng)。為達(da)到排(pai)氣(qi)之環境要(yao)(yao)求(qiu)化(hua)學洗(xi)滌器（scrubber），焚(fen)化(hua)爐或(huo)更多的機(ji)械(xie)及化(hua)學過(guo)濾(lv)(lv)(lv)設(she)備必需被應(ying)(ying)用。活性(xing)碳(tan)或(huo)高錳酸鹽能有效達(da)到化(hua)學過(guo)濾(lv)(lv)(lv)的要(yao)(yao)求(qiu)。
（二）就成本而言
在(zai)(zai)一(yi)些(xie)外(wai)表特(te)殊(shu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)建筑(zhu)物中，那(nei)些(xie)增加的(de)(de)(de)(de)(de)(de)設(she)(she)計(ji)和(he)(he)設(she)(she)備使用的(de)(de)(de)(de)(de)(de)費(fei)(fei)(fei)用在(zai)(zai)長(chang)期的(de)(de)(de)(de)(de)(de)利益中須作(zuo)(zuo)正確(que)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)判斷(duan)。在(zai)(zai)一(yi)些(xie)特(te)別的(de)(de)(de)(de)(de)(de)應(ying)用上(shang)(shang)，通常都習慣設(she)(she)計(ji)兩至三次的(de)(de)(de)(de)(de)(de)過濾以(yi)達到所(suo)要求(qiu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)狀態(tai)。傳統(tong)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)清(qing)凈(jing)室若(ruo)遇(yu)上(shang)(shang)要求(qiu)較(jiao)為嚴(yan)格(ge)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)部(bu)份時，設(she)(she)計(ji)必(bi)(bi)(bi)須有許多額外(wai)加價的(de)(de)(de)(de)(de)(de)部(bu)份。清(qing)凈(jing)室應(ying)盡量(liang)避免停機的(de)(de)(de)(de)(de)(de)現象，在(zai)(zai)建造的(de)(de)(de)(de)(de)(de)成(cheng)本(ben)里(li)必(bi)(bi)(bi)須注意耐久(jiu)性(xing)及(ji)可*度。在(zai)(zai)風門調整上(shang)(shang)，設(she)(she)計(ji)者設(she)(she)計(ji)時，對溫(wen)度及(ji)濕(shi)度的(de)(de)(de)(de)(de)(de)要求(qiu)不同，就像(xiang)是(shi)(shi)(shi)(shi)在(zai)(zai)設(she)(she)計(ji)人(ren)們的(de)(de)(de)(de)(de)(de)居住環(huan)境(jing)一(yi)般。在(zai)(zai)居住環(huan)境(jing)中，停機期和(he)(he)溫(wen)濕(shi)度上(shang)(shang)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)要求(qiu)較(jiao)放置設(she)(she)備上(shang)(shang)來得高。所(suo)以(yi)質量(liang)上(shang)(shang)及(ji)所(suo)提供的(de)(de)(de)(de)(de)(de)服務成(cheng)果是(shi)(shi)(shi)(shi)不能忽視(shi)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)。在(zai)(zai)特(te)殊(shu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)清(qing)凈(jing)室傳送或接收(shou)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)設(she)(she)備，在(zai)(zai)錯誤修(xiu)改應(ying)用上(shang)(shang)費(fei)(fei)(fei)用是(shi)(shi)(shi)(shi)比較(jiao)昂貴(gui)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)，且若(ruo)不能與設(she)(she)計(ji)圖上(shang)(shang)一(yi)樣(yang)，可能會無法執行。在(zai)(zai)設(she)(she)計(ji)特(te)殊(shu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)清(qing)凈(jing)室時，建筑(zhu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)成(cheng)本(ben)中包(bao)括運轉成(cheng)本(ben)，而運轉成(cheng)本(ben)又(you)包(bao)括須能持(chi)續(xu)運轉的(de)(de)(de)(de)(de)(de)馬(ma)達成(cheng)本(ben)及(ji)修(xiu)護成(cheng)本(ben)。成(cheng)本(ben)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)歸納有裝(zhuang)置費(fei)(fei)(fei)，持(chi)續(xu)運轉費(fei)(fei)(fei)，維(wei)修(xiu)費(fei)(fei)(fei)。計(ji)算(suan)運轉成(cheng)本(ben)必(bi)(bi)(bi)須考(kao)慮到能量(liang)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)消耗(hao)及(ji)效率(lv)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)高低。就高效率(lv)或新機臺啟動前，會先引進外(wai)氣(qi)，這樣(yang)對旋轉的(de)(de)(de)(de)(de)(de)原動力(li)、交流(liu)板、排(pai)氣(qi)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)管路和(he)(he)空氣(qi)回(hui)流(liu)混合系統(tong)中，長(chang)期使用可保持(chi)較(jiao)高的(de)(de)(de)(de)(de)(de)效率(lv)。在(zai)(zai)操作(zuo)(zuo)上(shang)(shang)和(he)(he)持(chi)續(xu)運轉費(fei)(fei)(fei)用上(shang)(shang)必(bi)(bi)(bi)須考(kao)慮是(shi)(shi)(shi)(shi)否提高整個的(de)(de)(de)(de)(de)(de)設(she)(she)備費(fei)(fei)(fei)用。
（三）就工作(zuo)參(can)數設定而言
特有(you)(you)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)溫(wen)(wen)度(du)(du)、濕(shi)(shi)度(du)(du)噪音(yin)(yin)、振(zhen)動及(ji)運作(zuo)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)環(huan)境要求下，大(da)部份將(jiang)影響到設(she)備(bei)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)選用(yong)。就某些實例而言，溫(wen)(wen)濕(shi)(shi)度(du)(du)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)設(she)定點在可接受的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)范圍內(nei)必(bi)須(xu)要維持在一(yi)個(ge)長(chang)時(shi)期或較完整的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)環(huan)境及(ji)過程(cheng)。清凈(jing)室的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)加熱(re)力(li)(li)法(fa)可用(yong)熱(re)水、水蒸(zheng)氣瓦斯(si)和(he)電能，可用(yong)冰水，乙醇或冷(leng)媒冷(leng)卻(que)。使用(yong)水蒸(zheng)氣、注射器(qi)、噴霧器(qi)及(ji)滲(shen)透的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)方法(fa)可以加濕(shi)(shi)。當評估加濕(shi)(shi)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)來源時(shi)，特別(bie)要注意(yi)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)是(shi)加濕(shi)(shi)過程(cheng)和(he)加濕(shi)(shi)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)方法(fa)是(shi)否(fou)保證清潔。典型的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)清凈(jing)室通風(feng)(feng)管(guan)理(li)裝(zhuang)置使用(yong)一(yi)個(ge)有(you)(you)吸收力(li)(li)或吸附(fu)力(li)(li)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)物質去除(chu)大(da)氣中的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)濕(shi)(shi)氣或使用(yong)低溫(wen)(wen)乙醇螺管(guan)系(xi)統去濕(shi)(shi)。溫(wen)(wen)濕(shi)(shi)度(du)(du)設(she)定后，就必(bi)須(xu)考(kao)慮(lv)空氣流(liu)量參數是(shi)否(fou)滿足所需(xu)。典型的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)清凈(jing)室必(bi)須(xu)維持在大(da)氣常(chang)壓下。因(yin)此房內(nei)之(zhi)壓力(li)(li)及(ji)體積(ji)之(zhi)值必(bi)須(xu)適(shi)當予以控(kong)制。風(feng)(feng)扇(shan)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)噪音(yin)(yin)與震動必(bi)須(xu)被(bei)考(kao)慮(lv)上去。適(shi)當的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)裝(zhuang)配(pei)器(qi)材及(ji)馬達(da)轉(zhuan)速可避免不必(bi)要的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)噪音(yin)(yin)和(he)振(zhen)動。風(feng)(feng)扇(shan)結(jie)構可使用(yong)皮(pi)帶(dai)驅(qu)動或直(zhi)接驅(qu)動。風(feng)(feng)速控(kong)制及(ji)可變頻率控(kong)制可以依體積(ji)需(xu)要來決定噪音(yin)(yin)及(ji)振(zhen)動的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)限度(du)(du)。最(zui)普通的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)減(jian)振(zhen)方法(fa)為(wei)裝(zhuang)置彈簧基座(zuo)、固定基座(zuo)及(ji)將(jiang)空調箱遠離。常(chang)用(yong)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)聲音(yin)(yin)衰減(jian)器(qi)有(you)(you)可動式地(di)板、緩沖機和(he)風(feng)(feng)扇(shan)彎曲度(du)(du)及(ji)伸縮度(du)(du)控(kong)制。聲音(yin)(yin)衰減(jian)器(qi)隔離風(feng)(feng)扇(shan)和(he)設(she)計成薄的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)特性(xing)，可降低幾度(du)(du)音(yin)(yin)階結(jie)合。除(chu)了粒子的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)控(kong)制之(zhi)外(wai)，特別(bie)要考(kao)慮(lv)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)有(you)(you)（a）帶(dai)細菌的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)操作(zuo)過程(cheng)，（b）腐蝕物或有(you)(you)毒的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)化學物品，（c）揮(hui)發(fa)性(xing)或易爆發(fa)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)藥(yao)劑，（d）還有(you)(you)室內(nei)及(ji)排氣的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)空氣質量，（e）安(an)全，（f）設(she)備(bei)壽命和(he)保養能力(li)(li)等(deng)。
（四）就建筑(zhu)考慮方面(mian)
空(kong)(kong)間的(de)(de)使用(yong)率會影響(xiang)AHU的(de)(de)實(shi)際大小。保養門和通路(lu)儀(yi)表板的(de)(de)位置必須謹(jin)慎地(di)決定(ding)，特別是(shi)位于(yu)小空(kong)(kong)間的(de)(de)設(she)(she)備(bei)(bei)。應(ying)防(fang)止(zhi)表面(mian)凝(ning)結(jie)(jie)，除(chu)了涉(she)及濕氣(qi)(qi)作(zuo)用(yong)和凝(ning)結(jie)(jie)在設(she)(she)備(bei)(bei)的(de)(de)外部之外，濕氣(qi)(qi)對(dui)(dui)于(yu)空(kong)(kong)氣(qi)(qi)傳遞設(she)(she)備(bei)(bei)內部構(gou)成(cheng)要素也有(you)不利的(de)(de)影響(xiang)，混(hun)氣(qi)(qi)對(dui)(dui)內部構(gou)成(cheng)也有(you)不利影響(xiang)，將(jiang)使壽命縮短，成(cheng)本提高(gao)。濕氣(qi)(qi)作(zuo)用(yong)將(jiang)會散(san)布弊病和污染物，便得效(xiao)率低的(de)(de)令人害怕。減低建筑(zhu)物的(de)(de)腐蝕物質和鋁、不銹鋼或涂上一層合金(jin)，可(ke)以(yi)使用(yong)上列物質使清凈室壽命增加。設(she)(she)計(ji)設(she)(she)備(bei)(bei)空(kong)(kong)間時，應(ying)保留適(shi)當(dang)的(de)(de)通路(lu)，以(yi)備(bei)(bei)打(da)掃或維修用(yong)。對(dui)(dui)于(yu)銅(tong)制(zhi)(zhi)的(de)(de)、不銹鋼制(zhi)(zhi)和鋁制(zhi)(zhi)的(de)(de)盤管，應(ying)注意那種場合適(shi)用(yong)那些盤管。
（五）就管理合成物的規格(ge)方法
詳述一C/R的(de)AHU是(shi)一個極(ji)大的(de)工作，并完全增加探討(tao)和了解這加工方法能夠提供其范圍于C/R環(huan)境，可使用的(de)操(cao)作上和地理性的(de)參(can)數運用上也必須被估量。
有專業和有經驗(yan)的(de)AHU廠商能夠協助使用者(zhe)在使用上(shang)的(de)復雜細節(jie)以使機器不會過量設(she)計(ji)，此項重(zhong)點在C/R設(she)計(ji)階段即應詳加注意。
其要求是否容易(yi)對材料的(de)(de)選擇而言(yan)天花板中(zhong)的(de)(de)濾網有許多種(zhong)，其最怕的(de)(de)就是粒子泄漏(lou)。
